在半导体制造领域,过滤系统的性能直接关系到芯片成品的质量与可靠性。随着芯片工艺不断升级,对过滤材料的精度、通量和耐久性提出了更高要求。以大连义邦推出的DEXMET PFA全氟过滤支撑网为代表的新一代过滤支撑材料,凭借其卓越的耐腐蚀性、高纯度和优良的物理性能,正在成为高端芯片制造环节中不可或缺的关键组件。
PFA过滤网的行业优势与显著特性
PFA(全氟烷氧基)材料以其极强的化学惰性和耐腐蚀能力,在苛刻环境下依然能保持材料稳定性,不易被强酸、强碱等腐蚀性介质侵蚀。这一特性对于半导体生产线至关重要,因为在光刻、蚀刻、CMP等工艺中,常常需要处理大量高纯度化学品和清洗液,普通材料难以胜任,而PFA过滤网则能有效抵御这些化学物质的侵蚀,延长过滤系统的使用寿命,减少维护成本。
此外,PFA过滤网具备极低的摩擦系数和优异的自润滑性能,能有效降低颗粒在过滤过程中的附着,减少堵塞现象,提升过滤效率和通量。其高纯度特性也能最大限度地避免二次污染,帮助企业维持超洁净的生产环境,保障芯片良率。
高精度与创新工艺带来的突破
与传统编织网相比,DEXMET PFA全氟过滤支撑网采用先进的延展工艺,通过定制精密模具沿单一方向精确撕裂和拉伸,实现了高过滤精度与大通量的完美结合。该工艺不仅保证了支撑网结构的均匀性和稳定性,还能实现0.1mm及以下的过滤精度,满足半导体行业对微米级颗粒的严格拦截需求。
目前,在国际上,除了DEXMET,其它供应商还无法实现0.1mm厚度的工业化量产。这种延展网是由定制的精密模具沿一个方向撕裂和拉伸而成。DEXMET是少数能够稳定生产高纯度PFA和PTFE聚合物延展网的国际供应商之一。这种高精密支撑层具有极强的化学稳定性、耐腐蚀性,良好的自润滑性和极低的摩擦系数,使得过滤磨损极小。
Dexmet PFA延展过滤网的应用
目前,大连义邦的Dexmet PFA延展过滤支撑网赢得了全球领先过滤制造商的青睐,包括Pall集团等行业巨头的信任。这种过滤网代表了过滤技术的创新,提供了行业领先的精度、耐用性和性能。通过将这些先进的过滤器集成到生产流程中,制造商能够实现生产高质量、可靠半导体芯片所需的超洁净环境。
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